1.主控制操作单元
(1) 在线式烧结设备
(2) 工艺可根据需求自由编辑
(3) 自检报警功能
(4) 支持 SECS/GEM 协议
(5) 参数设定计保护功能
(6) 烧结芯片数量自由设定
2.预热单元
(1) 舱内能提供 10Pa 以下真空环境
(2) 舱内能提供 N2 环境
(3) 舱内能提供室温-300°C(可调)，高温环境
(4) 可提供速度 10mm/s，振幅小于 50μm 的输送环境
3.烧结单元
(1) 舱内能提供 10Pa 以下真空环境
(2) 舱内能提供 N2 环境
(3) 舱内能提供室温-300°C(可调)，高温环境
(4) 可提供速度 10mm/s，振幅小于 50μm 的输送环境
(5) 芯片压强 5MPa-30MPa 可调，精度±0.1MPa
4.冷却单元
(1) 舱内能提供 10Pa 以下真空环境
(2) 舱内能提供 N2 环境
(3) 舱内能提供温降速率可调的降温环境
(4) 可提供速度 10mm/s，振幅小于 50μm 的输送环境
5.软件系统:升降温可编程控制，可根据工艺设置升降温曲线，每条曲线都可自动生成，可编辑、修改、 存储等;
6.数据记录系统:具有不间断的实时监控和数据记录系统，软件曲线记录、温控曲线保存、工艺参数保 存、设备参数记录、调用
技术参数
| 基本参数 | |
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外观尺寸 |
约 2480 x 1650 x 2400 mm |
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重量 |
主机+液压机:约 3000 kg |
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设备真空舱 |
前预热区，中间烧结区，后冷却区3个腔体 |
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进料、出料 |
接驳台或再聚输送机选配 |
| 轨道 | 轨道宽度260mm，轨道高度1100mm，载重≥10kg |
| 有效加热空间 | 载具加热范围(240mm*150mm),有效高度 H≥60mm |
| 预热和烧结最高工作温度 | ≥300°C |
| 加热方式 | 接触式导热 |
| 冷却方式 | 接触式散热冷却 |
| 真空泵类型 | 配置1个油泵(预热区，回流区，冷却区分别控制) |
| 真空泵抽速 | ≥100m3/h |
| 极限真空度 | ≤10Pa |
| 腔体气路 | 不与产品的直接冲击，充气抽气不影响产品位置偏移 |
| 烧结温度精度 | ±1% |
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冷却水 |
设备自带独立循环冷却水系统或厂务冷却水均可 |
| 温度曲线 | 温度曲线可自行设定、新增、修改、和删除等 |
| 功率 | 最大功率约15KW，工作功率9-12KW |
| 加热平台 | 紫铜加特殊处理 |
| 气体 | 氮气系统 |
| 数据自动记录和显示 | 产品信息，真空度，温度曲线自动记录 |
| 控制元件 | 如空气开关，接触器，继电器，光电开关，行程开关，电机，等采用国际知名品牌 |
| 可维修性 | 设备布局合理，各部件布局和结构在设计时考虑维修的方便性;走线规范规整，各连接线/ 线缆需要进行标记(有线号标识)，线/线缆连接规范可靠(压接端子等)，且实际和图纸一致。设备申购六年内供应商保证备件供应的持续性(能够提供原版备件或者可替代型号) |
| 设备资料 | 1) 提供完整的电路图及产品手册(需要纸面件和电子件，包含操作，维修，安装等)，开放设备所有参数和账户权限; 2) 提供常用备件清单及报价 |
| 设备保修期 | 设备保修期至少一年，从设备验收通过起开始计算保修时间。供应商在接到设备故障的通知 时，应在 12 小时内派人到达设备故障现场，24 小时内解决问题 |
| 控制方式 | 西门子 PLC1200 控制系统+研华工控机+软件操作 |
| 腔体温度超高报警、超极限温度保护 | |
| 超温报警、低温报警 | |
| 自检安全光栅 | |
| 冷却水压力检测系统，低压报警，软件提示 | |
| 气压检测系统，高低压报警，软件提示 | |
| 电器部件与水冷部件、气路部件隔离 | |
| 一键式切断加热部分电源 | |
| 序号 | 名称 | 规格 | 数量 | 备注 |
| 1 |
KD-VS10 |
HVT | 1台 | |
| 2 | VS10 控制软件 | V1.1 | 1套 | 终生免费升级 |
| 3 | VS10 控制系统 | HVT 标准 | 1套 | PLC(SIEMENS)1200 |
| 4 | 水冷系统 | 标配 | 2套 | 硬件设备 |
| 5 | 机械真空泵系统 | RA0100F | 1套 | 德国普旭 |
| 6 | 氮气控制系统 | HVT 标准 | 1套 | 标准配置氮气控制系统 |
| 7 | 真空配件、工具及加热管 | HVT 标准 | 1套 |
